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晶圓甩干機

簡要描述:v晶圓甩干機系高潔凈度的沖洗旋干設備

基礎信息

產品型號

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更新時間

2024-10-22

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詳細介紹

v 晶圓甩干機系高潔凈度的沖洗旋干設備。主要系應用于硅晶圓、掩模板、太陽能電池等材料的高潔凈度沖洗旋干。設備具有單工作室、雙工作室兩種結構

v 產品類型:有立式單腔,雙腔晶圓甩干機(2-12),水平多工位甩干機(2-12)

v 單次甩干數(shù)量1-25

v 作業(yè)程序:沖洗、烘干的步驟順序、時間、 轉速等可分段編輯,(可設 recipe 10 個)


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